✨氧化物刻蚀的 “稳定匠人” 登场～TEL TE8500 作为经典干法刻蚀机，可是 6 英寸晶圆产线的可靠主力🔧，还能兼容 8 英寸晶圆加工，特别擅长氧化硅等介质材料的精细刻蚀，妥妥满足成熟制程需求～

⚙️核心参数超能打：介质刻蚀均匀性稳在≤±3%，同一晶圆上的纳米级图案 “整齐划一”✨！搭载环形气体分布系统，多孔喷淋头像精准花洒般均匀分配 CF4/CHF3 刻蚀气体，配合动态偏压控制技术，给晶圆边缘加 “防护盾”，减少电场畸变导致的偏差。12 区温控静电卡盘让晶圆温度稳如磐石，确保刻蚀速率一致。

💡技术亮点藏巧思：自适应终点检测系统像 “智能导航”，实时监测等离子体变化，精准判断刻蚀终点，避免过蚀风险。紧凑的整合式设计让设备占地小却功能全，从真空系统到气体控制模块一体化运作，维护超方便。

即便作为二手设备，经专业翻新后依旧 “战斗力” 在线🌟！如今在成熟制程的逻辑芯片互连层、MEMS 传感器等领域持续发光，完善的备件支持让这位 “老兵” 成为中小产线和研发实验室的性价比之选，靠谱又省心～💪

#刻蚀机#